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タイトル: | Formation of periodic steps with a unit-cell height on 6H-SiC (0001) surface by HCl etching |
著者: | Nakamura, S Kimoto, T ![]() ![]() ![]() Matsunami, H Tanaka, S Teraguchi, N Suzuki, A |
発行日: | 2000 |
出版者: | AMER INST PHYSICS |
誌名: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
巻: | 76 |
号: | 23 |
開始ページ: | 3412 |
終了ページ: | 3414 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/6149 |
DOI(出版社版): | 10.1063/1.126663 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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