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| タイトル: | Reaction mechanism of alkoxy derivatives of titanium diketonates as source molecules in liquid source metalorganic chemical vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 films: A study by in situ infrared absorption spectroscopy |
| 著者: | Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Momose, S Sahara, R Tachibana, K |
| キーワード: | (Ba,Sr)TiO3 MOCVD alkoxy derivative titanium diketonate in situ infrared absorption spectroscopy |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 41 |
| 号: | 11B |
| 開始ページ: | 6624 |
| 終了ページ: | 6627 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6161 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.41.6624 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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