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| タイトル: | Quantum chemical study on decomposition and polymer deposition in perfluorocarbon plasmas: Molecular orbital calculations of excited states of perfluorocarbons |
| 著者: | Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Motomura, H Tachibana, K |
| キーワード: | quantum chemistry perfluorocarbon ab initio molecular orbital calculation excited state fluorocarbon plasma polymer deposition two-double-bonded perfluorocarbon one-triple-bonded perfluorocarbon aromatic perfluorocarbon |
| 発行日: | 2001 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 40 |
| 号: | 2A |
| 開始ページ: | 847 |
| 終了ページ: | 854 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/6163 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.40.847 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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