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タイトル: Titanium-dioxide film formation using gas cluster ion beam assisted deposition technique
著者: Nakatsu, O
Matsuo, J  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed)
Omoto, K
Seki, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)
Takaoka, G
Yamada, I
キーワード: cluster
ion
assist
deposition
titanium dioxide
titania
発行日: 2003
出版者: ELSEVIER SCIENCE BV
誌名: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
巻: 206
開始ページ: 866
終了ページ: 869
URI: http://hdl.handle.net/2433/6246
DOI(出版社版): 10.1016/S0168-583X(03)00880-2
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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