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タイトル: | Titanium-dioxide film formation using gas cluster ion beam assisted deposition technique |
著者: | Nakatsu, O Matsuo, J ![]() ![]() Omoto, K Seki, T ![]() ![]() ![]() Takaoka, G Yamada, I |
キーワード: | cluster ion assist deposition titanium dioxide titania |
発行日: | 2003 |
出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
巻: | 206 |
開始ページ: | 866 |
終了ページ: | 869 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/6246 |
DOI(出版社版): | 10.1016/S0168-583X(03)00880-2 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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