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タイトル: | Carrier compensation near tail region in aluminum- or boron-implanted 4H-SiC(0001) |
著者: | Negoro, Y Kimoto, T ![]() ![]() ![]() Matsunami, H |
発行日: | 2005 |
出版者: | AMER INST PHYSICS |
誌名: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
巻: | 98 |
号: | 4 |
論文番号: | 043709 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/6279 |
DOI(出版社版): | 10.1063/1.2030411 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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