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タイトル: Carrier compensation near tail region in aluminum- or boron-implanted 4H-SiC(0001)
著者: Negoro, Y
Kimoto, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
Matsunami, H
発行日: 2005
出版者: AMER INST PHYSICS
誌名: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
巻: 98
号: 4
論文番号: 043709
URI: http://hdl.handle.net/2433/6279
DOI(出版社版): 10.1063/1.2030411
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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