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タイトル: | Metalorganic vapor phase epitaxy of GaN, InN, and AlGaN using 1,1-dimethylhydrazine as a nitrogen source |
著者: | Funato, Mitsuru ![]() ![]() ![]() Ujita, Shinji Kawakami, Yoichi ![]() ![]() |
キーワード: | 1,1-dimethylhydrazine MOVPE GaN InN AlGaN |
発行日: | 2007 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS |
巻: | 46 |
号: | 10A |
開始ページ: | 6767 |
終了ページ: | 6772 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/67222 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.46.6767 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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