High-precision alignment and bonding system for the fabrication of 3-D nanostructures

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http://hdl.handle.net/2433/67239

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タイトル:	High-precision alignment and bonding system for the fabrication of 3-D nanostructures
著者:	Kawashima, Shoichi Imada, Masahiro Ishizaki, Kenji https://orcid.org/0000-0001-7199-8523 (unconfirmed) Noda, Susumu https://orcid.org/0000-0003-4302-0549 (unconfirmed)
キーワード:	microassembly micromachining nanostructure nanotechnology periodic structure photonic crystal wafer bonding 3-D integration
発行日:	2007
出版者:	IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
誌名:	JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
巻:	16
号:	5
開始ページ:	1140
終了ページ:	1144
URI:	http://hdl.handle.net/2433/67239
DOI(出版社版):	10.1109/JMEMS.2007.904950
リンク:	Web of Science
出現コレクション:	英文論文データベース

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