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タイトル: Low-temperature growth of ZnO thin films by linear source ultrasonic spray chemical vapor deposition
著者: Nishinaka, Hiroyuki
Kawaharamura, Toshiyuki
Fujita, Shizuo  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0001-6384-6693 (unconfirmed)
キーワード: zinc oxide
low-temperature growth
ultrasonic spray
chemical vapor deposition
flexible substrates
発行日: 2007
出版者: INST PURE APPLIED PHYSICS
誌名: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
巻: 46
号: 10A
開始ページ: 6811
終了ページ: 6813
URI: http://hdl.handle.net/2433/67264
DOI(出版社版): 10.1143/JJAP.46.6811
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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