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| タイトル: | High-cycle fatigue of micromachined single crystal silicon measured using a parallel fatigue test system |
| 著者: | Ikehara, Tsuyoshi Tsuchiya, Toshiyuki    https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed) |
| キーワード: | fatigue test silicon MEMS lifetime S-N curve resonator |
| 発行日: | 2007 |
| 出版者: | IEICE-INST ELECTRONICS INFORMATION COMMUNICATIONS ENG |
| 誌名: | IEICE ELECTRONICS EXPRESS |
| 巻: | 4 |
| 号: | 9 |
| 開始ページ: | 288 |
| 終了ページ: | 293 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/67450 |
| DOI(出版社版): | 10.1587/elex.4.288 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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