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| タイトル: | Effect of oblique-angle deposition on early stage of Fe-Si growth |
| 著者: | Harada, Hidehiko Jomori, Shinji Suzuki, Motofumi    https://orcid.org/0000-0002-6473-9141 (unconfirmed)Kinoshita, Kohei Nakajima, Kaoru https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed)Kimura, Kenji |
| キーワード: | iron silicide oblique-angle deposition rutherford backscattering spectroscopy ion channeling |
| 発行日: | 2007 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | THIN SOLID FILMS |
| 巻: | 515 |
| 号: | 22 |
| 開始ページ: | 8277 |
| 終了ページ: | 8280 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/67453 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.tsf.2007.02.064 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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