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| タイトル: | Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere |
| 著者: | Ichiki, K. Ninomiya, S. Seki, T.    https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)Aoki, T. https://orcid.org/0000-0002-5926-4903 (unconfirmed)Matsuo, J. https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed) |
| キーワード: | cluster ion bombardment SIMS QMS secondary ion surface oxidation |
| 発行日: | 2007 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 256 |
| 号: | 1 |
| 開始ページ: | 350 |
| 終了ページ: | 353 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/67594 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2006.12.026 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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