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| タイトル: | Plasma enhanced chemical vapor deposition of fluorinated amorphous carbon films on the surface with reverse tapered microstructures |
| 著者: | Shirafuji, T Wada, T Kashiwagi, M Nakamura, T    https://orcid.org/0000-0001-9008-5586 (unconfirmed)Tachibana, K |
| キーワード: | C5F8 plasma chemical vapor deposition organic electroluminescence passivation diagnostics |
| 発行日: | 2003 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS |
| 巻: | 42 |
| 号: | 7A |
| 開始ページ: | 4504 |
| 終了ページ: | 4509 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7301 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.42.4504 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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