ダウンロード数: 0
このアイテムのファイル:
このアイテムに関連するファイルはありません。
| タイトル: | Scanning capacitance and spreading resistance microscopy of SiC multiple-pn-junction structure |
| 著者: | Suda, J Nakamura, S Miura, M Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Matsunami, H |
| キーワード: | SiC SCM SSRM SIMS CVD doping |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
| 誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
| 巻: | 41 |
| 号: | 1AB |
| 開始ページ: | L40 |
| 終了ページ: | L42 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7367 |
| DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.41.L40 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。