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タイトル: | X-ray absorption near edge structures of silicon nitride thin film by pulsed laser deposition |
著者: | Suga, T Mizoguchi, T Kunisu, M Tatsumi, K Yamamoto, T Tanaka, I https://orcid.org/0000-0002-4616-118X (unconfirmed) Sekine, T |
キーワード: | pulsed laser deposition silicon nitride x-ray absorption near edge structure |
発行日: | 2004 |
出版者: | JAPAN INST METALS |
誌名: | MATERIALS TRANSACTIONS |
巻: | 45 |
号: | 7 |
開始ページ: | 2039 |
終了ページ: | 2041 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/7383 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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