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タイトル: X-ray absorption near edge structures of silicon nitride thin film by pulsed laser deposition
著者: Suga, T
Mizoguchi, T
Kunisu, M
Tatsumi, K
Yamamoto, T
Tanaka, I  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-4616-118X (unconfirmed)
Sekine, T
キーワード: pulsed laser deposition
silicon nitride
x-ray absorption near edge structure
発行日: 2004
出版者: JAPAN INST METALS
誌名: MATERIALS TRANSACTIONS
巻: 45
号: 7
開始ページ: 2039
終了ページ: 2041
URI: http://hdl.handle.net/2433/7383
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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