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タイトル: | High-purity and thick 4H-and 6H-SiC(0001) epitaxial growth by cold-wall chemical vapor deposition and high-voltage pin diodes |
著者: | Tamura, S Fujihira, K Kimoto, T https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed) Matsunami, H |
キーワード: | silicon carbide chemical vapor deposition photoluminescence pin diode power device |
発行日: | 2001 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS |
巻: | 40 |
号: | 4A |
開始ページ: | L319 |
終了ページ: | L322 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/7714 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.40.L319 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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