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タイトル: | Extension of lifetime of silicon field emitter arrays in oxygen ambient by carbon negative ion implantation |
著者: | Oowada, A Takeuchi, M Sakai, Y Gotoh, Y ![]() ![]() Nagao, M Tsuji, H ![]() Ishikawa, J Sakai, S Kimoto, T ![]() ![]() ![]() |
発行日: | 2008 |
出版者: | A V S AMER INST PHYSICS |
誌名: | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B |
巻: | 26 |
号: | 2 |
開始ページ: | 876 |
終了ページ: | 879 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/78587 |
DOI(出版社版): | 10.1116/1.2837896 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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