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タイトル: Extension of lifetime of silicon field emitter arrays in oxygen ambient by carbon negative ion implantation
著者: Oowada, A
Takeuchi, M
Sakai, Y
Gotoh, Y  kyouindb  KAKEN_id
Nagao, M
Tsuji, H  KAKEN_id
Ishikawa, J
Sakai, S
Kimoto, T  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)
発行日: 2008
出版者: A V S AMER INST PHYSICS
誌名: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
巻: 26
号: 2
開始ページ: 876
終了ページ: 879
URI: http://hdl.handle.net/2433/78587
DOI(出版社版): 10.1116/1.2837896
リンク: Web of Science
出現コレクション:英文論文データベース

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