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タイトル: | Impact of surface step heights of 6H-SiC (0001) vicinal substrates in heteroepitaxial growth of 2H-AlN |
著者: | Okumura, H Horita, M Kimoto, T https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed) Suda, J |
キーワード: | AlN SiC MBE XRD surface control |
発行日: | 2008 |
出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
誌名: | APPLIED SURFACE SCIENCE |
巻: | 254 |
号: | 23 |
開始ページ: | 7858 |
終了ページ: | 7860 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/78608 |
DOI(出版社版): | 10.1016/j.apsusc.2008.02.165 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |
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