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タイトル: | Heteroepitaxy of corundum-structured alpha-Ga2O3 thin films on alpha-Al2O3 substrates by ultrasonic mist chemical vapor deposition |
著者: | Shinohara, Daisuke Fujita, Shizuo ![]() ![]() ![]() |
キーワード: | wide-band-gap semiconductor transparent semiconductor sapphire substrates corundum structure oxide electronics |
発行日: | 2008 |
出版者: | INST PURE APPLIED PHYSICS |
誌名: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
巻: | 47 |
号: | 9(Part 1) |
開始ページ: | 7311 |
終了ページ: | 7313 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/78676 |
DOI(出版社版): | 10.1143/JJAP.47.7311 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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