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| タイトル: | High-cycle fatigue of micromachined single-crystal silicon measured using high-resolution patterned specimens |
| 著者: | Ikehara, T Tsuchiya, T    https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed) |
| 発行日: | 2008 |
| 出版者: | IOP PUBLISHING LTD |
| 誌名: | JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
| 巻: | 18 |
| 号: | 7 |
| 論文番号: | 075004 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/78961 |
| DOI(出版社版): | 10.1088/0960-1317/18/7/075004 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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