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| タイトル: | Mechanical calibration of MEMS springs with sub-micro-Newton force resolution |
| 著者: | Miyamoto, Kenji Jornori, Tomoya Sugano, Koji Tabata, Osamu  Tsuchiya, Toshiyuki   https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed) |
| キーワード: | calibration spring constant folded beam single-crystal silicon |
| 発行日: | 2008 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL |
| 巻: | 143 |
| 号: | 1 |
| 開始ページ: | 136 |
| 終了ページ: | 142 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/78964 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.sna.2007.10.042 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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