Combination of high-resolution RBS and angle-resolved XPS: accurate depth profiling of chemical states

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http://hdl.handle.net/2433/78969

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タイトル:	Combination of high-resolution RBS and angle-resolved XPS: accurate depth profiling of chemical states
著者:	Kimura, Kenji Nakajima, Kaoru https://orcid.org/0000-0002-5390-1262 (unconfirmed) Zhao, Ming Nohira, Hiroshi Hattori, Takeo Kobata, Masaaki Ikenaga, Eiji Kim, Jung An Kobayashi, Keisuke Conard, Thierry Vandervorst, Wilfried
キーワード:	high-resolution RBS angle-resolved XPS depth profiling combination analysis
発行日:	2008
出版者:	JOHN WILEY & SONS LTD
誌名:	SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS
巻:	40
号:	3-4
開始ページ:	423
終了ページ:	426
URI:	http://hdl.handle.net/2433/78969
DOI(出版社版):	10.1002/sia.2628
リンク:	Web of Science
出現コレクション:	英文論文データベース

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