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タイトル: | Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film |
著者: | Tomita, T Matsuo, S Okada, T Kimoto, T ![]() ![]() ![]() Matsunami, H Mitani, T Nakashima, SI |
発行日: | 2005 |
出版者: | AMER INST PHYSICS |
誌名: | APPLIED PHYSICS LETTERS |
巻: | 87 |
号: | 24 |
論文番号: | 241906 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/7902 |
DOI(出版社版): | 10.1063/1.2142080 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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