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| タイトル: | MD simulation study of the sputtering process by high-energy gas cluster impact |
| 著者: | Aoki, Takaaki   https://orcid.org/0000-0002-5926-4903 (unconfirmed)Seki, Toshio  https://orcid.org/0000-0002-0834-1657 (unconfirmed)Ninomiya, Satoshi Matsuo, Jiro https://orcid.org/0000-0003-0684-3677 (unconfirmed) |
| キーワード: | MD simulation Cluster ion beam Sputtering models |
| 発行日: | 2008 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | APPLIED SURFACE SCIENCE |
| 巻: | 255 |
| 号: | 4 |
| 開始ページ: | 944 |
| 終了ページ: | 947 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/79112 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.apsusc.2008.05.008 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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