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| タイトル: | A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes |
| 著者: | Tsuchiya, T    https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed)Funabashi, H |
| キーワード: | accelerometer vertical comb electrode SOI |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE SA |
| 誌名: | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL |
| 巻: | 116 |
| 号: | 3 |
| 開始ページ: | 378 |
| 終了ページ: | 383 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7945 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.sna.2004.05.008 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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