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| タイトル: | Cross comparison of thin-film tensile-testing methods examined using single-crystal silicon, polysilicon, nickel, and titanium films |
| 著者: | Tsuchiya, T    https://orcid.org/0000-0002-7846-5831 (unconfirmed)Hirata, M Chiba, N Udo, R Yoshitomi, Y Ando, T Sato, K Takashima, K Higo, Y Saotome, Y Ogawa, H Ozaki, K |
| キーワード: | mechanical properties standardization tensile testing thin film |
| 発行日: | 2005 |
| 出版者: | IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC |
| 誌名: | JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS |
| 巻: | 14 |
| 号: | 5 |
| 開始ページ: | 1178 |
| 終了ページ: | 1186 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7947 |
| DOI(出版社版): | 10.1109/JMEMS.2005.851820 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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