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| タイトル: | Study on optical reflection property from multilayer on Si substrate including nanoparticles in SiO2 layer |
| 著者: | Tsuji, H  Arai, N Motono, M Gotoh, Y  Adachi, K Kotaki, H Ishikawa, J |
| キーワード: | nanoparticle negative ion implantation optical reflection multi-layer monitoring |
| 発行日: | 2003 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 206 |
| 開始ページ: | 615 |
| 終了ページ: | 619 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/7950 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/S0168-583X(03)00795-X |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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