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タイトル: | 光誘起キャリアを用いるシリコン上への湿式法マスクレス金属パターニング |
著者: | 尾形, 幸生 |
著者名の別形: | Ogata, Yukio |
キーワード: | レーザー 置換めっき 電析 多孔質シリコン 光励起 パターニング 金属パターニング Photo-excitation Laser Metal patterning Electrodeposition Porous silicon |
発行日: | Mar-2005 |
出版者: | 京都大学 |
記述: | 平成14-16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 課題番号:14350383 研究代表者:尾形幸生 (京都大学エネルギー理工学研究所教授) |
著作権等: | p.9-122は学術雑誌掲載論文の抜き刷り、出版社に著作権許諾が得られていないため未掲載 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/79587 |
関連リンク: | http://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-14350383/ |
出現コレクション: | エネルギー理工学研究所 |
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