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タイトル: | ナノ高次構造制御による高機能マイクロマテリアルとμTASシステムの創生 |
著者: | 小寺, 秀俊 ![]() |
著者名の別形: | Kotera, Hidetoshi |
キーワード: | MEMS 機械的特性 マイクロTAS 樹脂 マイクロポンプ 材料分散 Genetic algorithm 遺伝的アルゴリズム Micro-pump Thin film material properties micro-TAS 材料拡散 tensile test Micro-mixer Mechanical properties 薄膜の変形 引張り試験 厚さ分布 多層膜 Material distribution |
発行日: | 4-Mar-2003 |
出版者: | 京都大学 |
記述: | 平成12-14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 課題番号:12450102 研究代表者:小寺 秀俊 (京都大学大学院工学研究科 教授) |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/84835 |
関連リンク: | http://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-12450102/ |
出現コレクション: | 090 工学研究科・工学部 |
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