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| タイトル: | Mechanical properties of aerogel-like thin films used for MEMS |
| 著者: | Yokokawa, R    https://orcid.org/0000-0002-6306-2693 (unconfirmed)Paik, JA Dunn, B Kitazawa, N Kotera, H Kim, CJ |
| 発行日: | 2004 |
| 出版者: | IOP PUBLISHING LTD |
| 誌名: | JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING |
| 巻: | 14 |
| 号: | 5 |
| 開始ページ: | 681 |
| 終了ページ: | 686 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8507 |
| DOI(出版社版): | 10.1088/0960-1317/14/5/004 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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