このアイテムのアクセス数: 0
このアイテムのファイル:
このアイテムに関連するファイルはありません。
| タイトル: | Fast epitaxial growth of 4H-SiC by chimney-type hot-wall CVD |
| 著者: | Fujihira, K Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Matsunami, H |
| キーワード: | 4H-SiC (0338) plane chemical vapor deposition CVD deep levels photoluminescence |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD |
| 誌名: | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS |
| 巻: | 389-3 |
| 開始ページ: | 175 |
| 終了ページ: | 178 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8739 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。