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| タイトル: | Recent achievements and future challenges in SiC homoepitaxial growth |
| 著者: | Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Nakazawa, S Fujihira, K Hirao, T Nakamura, S Chen, Y Hashimoto, K Matsunami, H |
| キーワード: | (0338) plane (1120) plane deep-level homoepitaxial growth hot-wall CVD impurity doping |
| 発行日: | 2002 |
| 出版者: | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD |
| 誌名: | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2001, PTS 1 AND 2, PROCEEDINGS |
| 巻: | 389-3 |
| 開始ページ: | 165 |
| 終了ページ: | 170 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8793 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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