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タイトル: | Towards high-quality AlN/SiC hetero-interface by controlling initial processes in molecular-beam epitaxy |
著者: | Onojima, N Kaido, J Suda, J ![]() Kimoto, T ![]() ![]() ![]() Matsunami, H |
キーワード: | AlN SiC molecular-beam epitaxy (MBE) MIS interface states |
発行日: | 2004 |
出版者: | TRANS TECH PUBLICATIONS LTD |
誌名: | SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS 2003, PTS 1 AND 2 |
巻: | 457-460 |
開始ページ: | 1569 |
終了ページ: | 1572 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/8856 |
リンク: | Web of Science |
出現コレクション: | 英文論文データベース |

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