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| タイトル: | Effects of oxidation/anneal atmosphere on SiC MOS interface and MOSFETs |
| 著者: | Yano, H Katafuchi, F Kimoto, T    https://orcid.org/0000-0002-6649-2090 (unconfirmed)Matsunami, H |
| 発行日: | 1999 |
| 出版者: | IOP PUBLISHING LTD |
| 誌名: | COMPOUND SEMICONDUCTORS 1998 |
| 号: | 162 |
| 開始ページ: | 723 |
| 終了ページ: | 728 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/8919 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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