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タイトル: Reduction in surface recombination and enhancement of light emission in silicon photonic crystals treated by high-pressure water-vapor annealing
著者: Fujita, Masayuki
Gelloz, Bernard
Koshida, Nobuyoshi
Noda, Susumu  kyouindb  KAKEN_id  orcid https://orcid.org/0000-0003-4302-0549 (unconfirmed)
著者名の別形: 冨士田, 誠之
キーワード: annealing
elemental semiconductors
passivation
photoluminescence
photonic crystals
silicon
surface recombination
発行日: 20-Sep-2010
出版者: American Institute of Physics
誌名: Applied Physics Letters
巻: 97
号: 12
論文番号: 121111
抄録: We propose and demonstrate the application of high-pressure water-vapor annealing (HWA) to silicon photonic crystals for surface passivation. We find that the photoluminescence intensity from a sample treated with HWA is enhanced by a factor of ∼ 6. We confirm that this enhancement originates from a reduction in the surface-recombination velocity (SRV) by a factor of ∼ 0.4. The estimated SRV is as low as 2.1×10[3] cm/s at room temperature. These results indicate that HWA is a promising approach for efficient surface passivation in silicon photonic nanostructures.
著作権等: © 2010 American Institute of Physics
URI: http://hdl.handle.net/2433/130696
DOI(出版社版): 10.1063/1.3489419
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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