ブラウズ : キーワード (100) silicon
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| 書誌情報 | ファイル |
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| A New Design of Mode-Matched (100) Silicon Ring Gyroscope with Chamfered Rectangle Springs Immune to Fabrication Error Okayama, Shuya; Banerjee, Amit; Hirotani, Jun; Tsuchiya, Toshiyuki (2023) 2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL) |  |