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| タイトル: | Large-scale molecular dynamics simulation of sputtering process with glancing-angle Ar cluster impact on 4H-SiC |
| 著者: | Satake, S. Yamashina, S. Inoue, N. Kunugi, T.  Shibahara, M. |
| キーワード: | Ar cluster Molecular dynamics simulation Sputtering Incident-angle |
| 発行日: | 2009 |
| 出版者: | ELSEVIER SCIENCE BV |
| 誌名: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
| 巻: | 267 |
| 号: | 18 |
| 開始ページ: | 3258 |
| 終了ページ: | 3262 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/109250 |
| DOI(出版社版): | 10.1016/j.nimb.2009.06.083 |
| リンク: | Web of Science |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース |
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