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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kohama, Kazuyuki | en |
| dc.contributor.author | Ito, Kazuhiro | en |
| dc.contributor.author | Mori, Kenichi | en |
| dc.contributor.author | Maekawa, Kazuyoshi | en |
| dc.contributor.author | Shirai, Yasuharu | en |
| dc.contributor.author | Murakami, Masanori | en |
| dc.date.accessioned | 2010-04-19T05:58:56Z | - |
| dc.date.available | 2010-04-19T05:58:56Z | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.issn | 0361-5235 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/109534 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | SPRINGER | en |
| dc.subject | Cu(Ti) alloy film | en |
| dc.subject | low-k films | en |
| dc.subject | self-formation | en |
| dc.subject | Rutherford backscattering spectrometry | en |
| dc.subject | diffusion barrier | en |
| dc.title | Rutherford Backscattering Spectrometry Analysis of Self-Formed Ti-Rich Interface Layer Growth in Cu(Ti)/Low-k Samples | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS | en |
| dc.identifier.volume | 38 | - |
| dc.identifier.issue | 9 | - |
| dc.identifier.spage | 1913 | - |
| dc.identifier.epage | 1920 | - |
| dc.relation.doi | 10.1007/s11664-009-0843-y | - |
| dc.textversion | none | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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