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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogr03982.pdf | Abstract_要旨 | 1.42 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | 誘導結合型プラズマエッチング装置におけるプラズマ制御の高度化に関する研究 |
| 著者: | 枝村, 学  |
| 著者名の別形: | Edamura, Manabu |
| 発行日: | 23-Jan-2008 |
| 出版者: | 京都大学 (Kyoto University) |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・論文博士 |
| 取得分野: | 博士(工学) |
| 報告番号: | 乙第12158号 |
| 学位記番号: | 論工博第3982号 |
| metadata.dc.date.granted: | 2008-01-23 |
| 請求記号: | 新制||工||1424(附属図書館) |
| 論文調査委員: | (主査)教授 斧 髙一, 教授 稲室 隆二, 教授 福山 淳 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第2項該当 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/136366 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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