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dc.contributor.authorRyuto, Hiromichien
dc.contributor.authorOzaki, Ryosukeen
dc.contributor.authorMukai, Hiroshien
dc.contributor.authorTakaoka, Gikan H.en
dc.date.accessioned2011-09-13T00:25:25Z-
dc.date.available2011-09-13T00:25:25Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.issn0042-207X-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/146592-
dc.language.isoeng-
dc.publisherPERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTDen
dc.subjectCluster ion beamen
dc.subjectSputteringen
dc.subjectEthanolen
dc.subjectRadiation damageen
dc.titleInteraction between ethanol cluster ion beam and silicon surfaceen
dc.typeconference paper-
dc.type.niitypeConference Paper-
dc.identifier.jtitleVACUUMen
dc.identifier.volume84-
dc.identifier.issue12-
dc.identifier.spage1419-
dc.identifier.epage1422-
dc.relation.doi10.1016/j.vacuum.2009.12.018-
dc.textversionnone-
dcterms.accessRightsmetadata only access-
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