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完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kohama, Kazuyuki | en |
| dc.contributor.author | Ito, Kazuhiro | en |
| dc.contributor.author | Sonobayashi, Yutaka | en |
| dc.contributor.author | Tanaka, Tomohisa | en |
| dc.contributor.author | Mori, Kenichi | en |
| dc.contributor.author | Maekawa, Kazuyoshi | en |
| dc.contributor.author | Shirai, Yasuharu | en |
| dc.contributor.author | Murakami, Masanori | en |
| dc.date.accessioned | 2011-09-13T00:27:50Z | - |
| dc.date.available | 2011-09-13T00:27:50Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.issn | 0021-4922 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/146782 | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | JAPAN SOC APPLIED PHYSICS | en |
| dc.title | Effects of Pore Sealing on Self-Formation of Ti-Rich Barrier Layers in Cu(Ti)/Porous-Low-k Samples | en |
| dc.type | journal article | - |
| dc.type.niitype | Journal Article | - |
| dc.identifier.jtitle | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | en |
| dc.identifier.volume | 49 | - |
| dc.identifier.issue | 4 | - |
| dc.relation.doi | 10.1143/JJAP.49.04DB09 | - |
| dc.textversion | none | - |
| dc.identifier.artnum | 04DB09 | - |
| dcterms.accessRights | metadata only access | - |
| 出現コレクション: | 英文論文データベース | |
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