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ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
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ykogr03739.pdf | Abstract_要旨 | 244.11 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
D_Inoue_Naoya.pdf | Dissertation_全文 | 2.58 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
タイトル: | 高信頼性強誘電体集積メモリ(FeRAM)技術のためのPZT薄膜物性制御に関する研究 |
著者: | 井上, 尚也 ![]() |
著者名の別形: | Inoue, Naoya |
発行日: | 24-Mar-2003 |
出版者: | 京都大学 (Kyoto University) |
学位授与大学: | 京都大学 |
学位の種類: | 新制・論文博士 |
取得分野: | 博士(工学) |
報告番号: | 乙第11218号 |
学位記番号: | 論工博第3739号 |
metadata.dc.date.granted: | 2003-03-24 |
請求記号: | 新制||工||1285(附属図書館) |
論文調査委員: | (主査)教授 松波 弘之, 教授 松重 和美, 教授 鈴木 実 |
学位授与の要件: | 学位規則第4条第2項該当 |
DOI: | 10.14989/doctor.r11218 |
URI: | http://hdl.handle.net/2433/148911 |
出現コレクション: | 090 博士(工学) |

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