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タイトル: 高信頼性強誘電体集積メモリ(FeRAM)技術のためのPZT薄膜物性制御に関する研究
著者: 井上, 尚也  KAKEN_name
著者名の別形: Inoue, Naoya
発行日: 24-Mar-2003
出版者: 京都大学 (Kyoto University)
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・論文博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 乙第11218号
学位記番号: 論工博第3739号
metadata.dc.date.granted: 2003-03-24
請求記号: 新制||工||1285(附属図書館)
論文調査委員: (主査)教授 松波 弘之, 教授 松重 和美, 教授 鈴木 実
学位授与の要件: 学位規則第4条第2項該当
DOI: 10.14989/doctor.r11218
URI: http://hdl.handle.net/2433/148911
出現コレクション:090 博士(工学)

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