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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogk02156.pdf | Abstract_要旨 | 178.96 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| D_Yamamuka_Mikio.pdf | Dissertation_全文 | 16.13 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 橘, 邦英 | - |
| dc.contributor.advisor | 鈴木, 実 | - |
| dc.contributor.advisor | 斧, 髙一 | - |
| dc.contributor.author | Yamamuka, Mikio | en |
| dc.contributor.alternative | 山向, 幹雄 | ja |
| dc.contributor.transcription | ヤマムカ, ミキオ | ja |
| dc.date.accessioned | 2011-11-17T07:48:38Z | - |
| dc.date.available | 2011-11-17T07:48:38Z | - |
| dc.date.issued | 2002-03-25 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/149806 | - |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | 京都大学 (Kyoto University) | ja |
| dc.publisher.alternative | 京都大学 | ja |
| dc.subject.ndc | 500 | - |
| dc.title | A study on reaction mechanisms in chemical vapor deposition of (Ba,Sr)TiO3 films for Gbit-scale DRAM capacitors | en |
| dc.title.alternative | ギガビットスケールDRAMキャパシタ用(Ba, Sr)TiO3薄膜の化学気相成長における成膜反応機構に関する研究 | ja |
| dc.title.transcription | ギガビット スケール DRAM キャパシタヨウ Ba Sr TiO3 ハクマク ノ カガク キソウ セイチョウ ニ オケル セイマク ハンノウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ | ja-Kana |
| dc.type | doctoral thesis | - |
| dc.type.niitype | Thesis or Dissertation | - |
| dc.textversion | author | - |
| dc.identifier.ndlid | 000003538031 | - |
| dc.description.degreegrantor | 京都大学 | ja |
| dc.description.degreeuniversitycode | 0048 | - |
| dc.description.degreelevel | 新制・課程博士 | - |
| dc.description.degreediscipline | 博士(工学) | ja |
| dc.description.degreereportnumber | 甲第9570号 | - |
| dc.description.degreenumber | 工博第2156号 | - |
| dc.description.degreekucallnumber | 新制||工||1236(附属図書館) | - |
| dc.description.degreendlcallnumber | UT51-2002-G328 | - |
| dc.date.granted | 2002-03-25 | - |
| dc.description.degreeaffiliation | 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻 | - |
| dc.description.degreeexamcommittee | (主査)教授 橘 邦英, 教授 鈴木 実, 教授 斧 髙一 | - |
| dc.description.degreeprovision | 学位規則第4条第1項該当 | - |
| dc.identifier.selfDOI | 10.14989/doctor.k9570 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| dc.description.degreediscipline-en | Doctor of Engineering | en |
| dc.identifier.degreegrantorID | 14301 | - |
| dc.description.degreegrantor-en | Kyoto University | en |
| dc.description.degreeObjectType | DFAM | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Name | 橘, 邦英 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 鈴木, 実 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 斧, 髙一 | ja |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) | |
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