プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発

湯之上, 隆

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http://hdl.handle.net/2433/151571

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ファイル	記述	サイズ	フォーマット
ykogr03564.pdf	Abstract_要旨	257.18 kB	Adobe PDF	見る/開く

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DCフィールド	値	言語
dc.contributor.advisor	今西, 信嗣	-
dc.contributor.advisor	橘, 邦英	-
dc.contributor.advisor	森山, 裕丈	-
dc.contributor.author	湯之上, 隆	ja
dc.contributor.alternative	Yunogami, Takashi	en
dc.contributor.transcription	ユノガミ, タカシ	ja
dc.date.accessioned	2011-12-06T01:48:45Z	-
dc.date.available	2011-12-06T01:48:45Z	-
dc.date.issued	2001-01-23	-
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2433/151571	-
dc.format.mimetype	application/pdf	-
dc.language.iso	jpn	-
dc.publisher	京都大学	ja
dc.publisher.alternative	Kyoto University	en
dc.subject.ndc	500	-
dc.title	プラズマエッチングによる半導体素子の微細化の課題に関する研究開発	ja
dc.title.transcription	プラズマエッチングニヨルハンドウタイソシノビサイカノカダイニカンスルケンキュウカイハツ	ja-Kana
dc.type	doctoral thesis	-
dc.type.niitype	Thesis or Dissertation	-
dc.textversion	none	-
dc.identifier.ndlid	000000395805	-
dc.description.degreegrantor	京都大学	ja
dc.description.degreeuniversitycode	0048	-
dc.description.degreelevel	新制・論文博士	-
dc.description.degreediscipline	博士(工学)	ja
dc.description.degreereportnumber	乙第10591号	-
dc.description.degreenumber	論工博第3564号	-
dc.description.degreekucallnumber	新制\|\|工\|\|1198(附属図書館)	-
dc.description.degreendlcallnumber	UT51-2001-A783	-
dc.date.granted	2001-01-23	-
dc.description.degreeexamcommittee	(主査)教授今西信嗣, 教授橘邦英, 教授森山裕丈	-
dc.description.degreeprovision	学位規則第4条第2項該当	-
dcterms.accessRights	open access	-
dc.description.degreediscipline-en	Doctor of Engineering	en
dc.identifier.degreegrantorID	14301	-
dc.description.degreegrantor-en	Kyoto University	en
dc.description.degreeObjectType	DAM	-
jpcoar.contributor.Type	Supervisor	-
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jpcoar.contributor.Name	今西, 信嗣	ja
jpcoar.contributor.Name	橘, 邦英	ja
jpcoar.contributor.Name	森山, 裕丈	ja
出現コレクション:	090 博士(工学)

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