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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogr02974.pdf | Abstract_要旨 | 227.39 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| D_Fujino_Takeshi.pdf | Dissertation_全文 | 44.24 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 石川, 順三 | - |
| dc.contributor.advisor | 佐々木, 昭夫 | - |
| dc.contributor.advisor | 田丸, 啓吉 | - |
| dc.contributor.author | 藤野, 毅 | ja |
| dc.contributor.alternative | Fujino, Takeshi | en |
| dc.contributor.transcription | フジノ, タケシ | ja |
| dc.date.accessioned | 2012-03-28T05:37:14Z | - |
| dc.date.available | 2012-03-28T05:37:14Z | - |
| dc.date.issued | 1995-03-23 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/154664 | - |
| dc.description | 本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである | ja |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | jpn | - |
| dc.publisher | 京都大学 | ja |
| dc.publisher.alternative | Kyoto University | en |
| dc.subject.ndc | 500 | - |
| dc.title | 電子ビーム描画技術を用いた大規模半導体集積回路リソグラフィーに関する研究 | ja |
| dc.type | doctoral thesis | - |
| dc.type.niitype | Thesis or Dissertation | - |
| dc.textversion | author | - |
| dc.identifier.ndlid | 000000281601 | - |
| dc.description.degreegrantor | 京都大学 | ja |
| dc.description.degreeuniversitycode | 0048 | - |
| dc.description.degreelevel | 新制・論文博士 | - |
| dc.description.degreediscipline | 博士(工学) | ja |
| dc.description.degreereportnumber | 乙第8865号 | - |
| dc.description.degreenumber | 論工博第2974号 | - |
| dc.description.degreekucallnumber | 新制||工||996(附属図書館) | - |
| dc.description.degreendlcallnumber | UT51-95-D458 | - |
| dc.date.granted | 1995-03-23 | - |
| dc.description.degreeexamcommittee | (主査)教授 石川 順三, 教授 佐々木 昭夫, 教授 田丸 啓吉 | - |
| dc.description.degreeprovision | 学位規則第4条第2項該当 | - |
| dc.identifier.selfDOI | 10.11501/3099752 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| dc.description.degreediscipline-en | Doctor of Engineering | en |
| dc.identifier.degreegrantorID | 14301 | - |
| dc.description.degreegrantor-en | Kyoto University | en |
| dc.description.degreeObjectType | DFAM | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Name | 石川, 順三 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 佐々木, 昭夫 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 田丸, 啓吉 | ja |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) | |
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