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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogk01541.pdf | Abstract_要旨 | 356.2 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| D_Toyota_Yoshitaka.pdf | Dissertation_全文 | 2.47 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
| タイトル: | A Study on the Charging Mechanisms of Electrically Insulated Substrates in Negative-Ion Implantation |
| その他のタイトル: | 負イオン注入における絶縁基板の帯電メカニズムに関する研究 |
| 著者: | Toyota, Yoshitaka |
| 著者名の別形: | 豊田, 啓孝 |
| 発行日: | 23-Mar-1996 |
| 出版者: | Kyoto University |
| 記述: | 本文データは平成22年度国立国会図書館の学位論文(博士)のデジタル化実施により作成された画像ファイルを基にpdf変換したものである |
| 学位授与大学: | 京都大学 |
| 学位の種類: | 新制・課程博士 |
| 取得分野: | 博士(工学) |
| 報告番号: | 甲第6444号 |
| 学位記番号: | 工博第1541号 |
| 学位授与年月日: | 1996-03-23 |
| 請求記号: | 新制||工||1031(附属図書館) |
| 研究科・専攻: | 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 |
| 論文調査委員: | (主査)教授 石川 順三, 教授 今西 信嗣, 教授 橘 邦英 |
| 学位授与の要件: | 学位規則第4条第1項該当 |
| DOI: | 10.11501/3110580 |
| URI: | http://hdl.handle.net/2433/154669 |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) |
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