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| ファイル | 記述 | サイズ | フォーマット | |
|---|---|---|---|---|
| ykogk03613.pdf | Abstract_要旨 | 156.1 kB | Adobe PDF | 見る/開く |
| D_Fukumoto_Hiroshi.pdf | Dissertation_全文 | 2.46 MB | Adobe PDF | 見る/開く |
完全メタデータレコード
| DCフィールド | 値 | 言語 |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 斧, 髙一 | - |
| dc.contributor.advisor | 稲室, 隆二 | - |
| dc.contributor.advisor | 青木, 一生 | - |
| dc.contributor.author | Fukumoto, Hiroshi | en |
| dc.contributor.alternative | 福本, 浩志 | ja |
| dc.contributor.transcription | フクモト, ヒロシ | ja |
| dc.date.accessioned | 2012-07-09T04:32:12Z | - |
| dc.date.available | 2012-07-09T04:32:12Z | - |
| dc.date.issued | 2012-05-23 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2433/158076 | - |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | eng | - |
| dc.publisher | 京都大学 (Kyoto University) | ja |
| dc.publisher.alternative | 京都大学 | ja |
| dc.subject | Fluorocarbon plasmas | en |
| dc.subject | Inductively coupled plasma | en |
| dc.subject | Plasma etching profile | en |
| dc.subject | Charging | en |
| dc.subject.ndc | 500 | - |
| dc.title | Model Analysis of Plasma-Surface Interactions during Silicon Oxide Etching in Fluorocarbon Plasmas | en |
| dc.title.alternative | フルオロカーボンプラズマによる酸化シリコンエッチングにおけるプラズマ－表面相互作用の数値解析 | ja |
| dc.type | doctoral thesis | - |
| dc.type.niitype | Thesis or Dissertation | - |
| dc.textversion | author | - |
| dc.description.degreegrantor | 京都大学 | ja |
| dc.description.degreeuniversitycode | 0048 | - |
| dc.description.degreelevel | 新制・課程博士 | - |
| dc.description.degreediscipline | 博士(工学) | ja |
| dc.description.degreereportnumber | 甲第17064号 | - |
| dc.description.degreenumber | 工博第3613号 | - |
| dc.description.degreekucallnumber | 新制||工||1548(附属図書館) | - |
| dc.description.degreeserialnumber | 29784 | - |
| dc.date.granted | 2012-05-23 | - |
| dc.description.degreeaffiliation | 京都大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻 | - |
| dc.description.degreeexamcommittee | (主査)教授 斧 髙一, 教授 稲室 隆二, 教授 青木 一生 | - |
| dc.description.degreeprovision | 学位規則第4条第1項該当 | - |
| dc.identifier.selfDOI | 10.14989/doctor.k17064 | - |
| dcterms.accessRights | open access | - |
| dc.description.degreediscipline-en | Doctor of Philosophy (Engineering) | en |
| dc.identifier.degreegrantorID | 14301 | - |
| dc.description.degreegrantor-en | Kyoto University | en |
| dc.description.degreeObjectType | DFAM | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Type | Supervisor | - |
| jpcoar.contributor.Name | 斧, 髙一 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 稲室, 隆二 | ja |
| jpcoar.contributor.Name | 青木, 一生 | ja |
| 出現コレクション: | 090 博士(工学) | |
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