エレガード®を用いた絶縁性試料のSEM-EDX分析

Abstract

絶縁性試料を走査型電子顕微鏡─エネルギー分散型X線分析で観察するためには，観察前に金属や炭素などの導電性の薄膜を真空蒸着あるいはイオンスパッタリングして，帯電を防ぐ必要がある．試料の準備には時間がかかり，煩雑な操作が必要となる．本論文では，エレガード®を絶縁性試料上にごく少量スプレーすると帯電防止剤として，マイクロメートルオーダーの空間分解能で走査型電子顕微鏡二次電子像観察及びエネルギー分散型X線分析による組成分析ができることを示した．また，エレガード®による金属腐食性についても論じた.

SEM-EDX analyses of insulator samples are usually believed to be difficult because of charge-up effect, and thus carbon or gold evaporation was performed prior to the SEM observation. However, such an electric conductive thin film will emit characteristic X-rays, interfering the EDX analysis. In the present study, we report that using an anti-static spray is an easier and more effective way than using an ionic liquid. Possibility of metal corrosion by the anti-static spray should be noted.