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タイトル: アルカリ金属ソースタブレットと犠牲マイクロ流路気密封止技術を用いた原子磁気センサ用アルカリ金属蒸気セルの作製手法に関する研究
著者: 辻本, 和也  KAKEN_name
著者名の別形: Tsujimoto, Kazuya
キーワード: 微細加工技術
原子磁気センサ
アルカリ金属蒸気セル
ガラスフリット接合
気密性評価
発行日: 24-Mar-2014
出版者: 京都大学 (Kyoto University)
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・課程博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 甲第18270号
学位記番号: 工博第3862号
metadata.dc.date.granted: 2014-03-24
請求記号: 新制||工||1592(附属図書館)
整理番号: 31128
研究科・専攻: 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
論文調査委員: (主査)教授 田畑 修, 教授 蓮尾 昌裕, 教授 中部 主敬
学位授与の要件: 学位規則第4条第1項該当
DOI: 10.14989/doctor.k18270
URI: http://hdl.handle.net/2433/188583
出現コレクション:090 博士(工学)

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