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タイトル: SiCの結晶欠陥がショットキー障壁ダイオード特性に及ぼす影響と特性改善に関する研究
著者: 藤原, 広和  KAKEN_name
著者名の別形: Fujiwara, Hirokazu
キーワード: SiC
ダイオード
エピタキシャル成長
積層欠陥
転位
表面ラフネス
発行日: 23-Mar-2017
出版者: 京都大学 (Kyoto University)
学位授与大学: 京都大学
学位の種類: 新制・課程博士
取得分野: 博士(工学)
報告番号: 甲第20379号
学位記番号: 工博第4316号
metadata.dc.date.granted: 2017-03-23
請求記号: 新制||工||1669(附属図書館)
研究科・専攻: 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
論文調査委員: (主査)教授 木本 恒暢, 教授 山田 啓文, 准教授 浅野 卓
学位授与の要件: 学位規則第4条第1項該当
著作権等: 学位規則第9条第2項により要約公開
DOI: 10.14989/doctor.k20379
URI: http://hdl.handle.net/2433/225604
出現コレクション:090 博士(工学)

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