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JApplPhys_89_6105.pdf84.99 kBAdobe PDF見る/開く
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dc.contributor.authorKimoto, Tsunenobuen
dc.contributor.authorYamamoto, Toshiyukien
dc.contributor.authorChen, Zhi Yingen
dc.contributor.authorYano, Hiroshien
dc.contributor.authorMatsunami, Hiroyukien
dc.date.accessioned2006-12-25T02:30:17Z-
dc.date.available2006-12-25T02:30:17Z-
dc.date.issued2001-06-01-
dc.identifier.citationT. Kimoto et al., J. Appl. Phys. 89, 6105-6109 (2001)-
dc.identifier.issn0021-8979-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/2433/24207-
dc.format.extent87025 bytes-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoeng-
dc.publisherAmerican Institute of Physicsen
dc.rightsCopyright 2001 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.en
dc.titleChemical vapor deposition and deep level analyses of 4H-SiC(11(2)over-bar0)en
dc.typejournal article-
dc.type.niitypeJournal Article-
dc.identifier.ncidAA00693547-
dc.identifier.jtitleJournal of Applied Physicsen
dc.identifier.volume89-
dc.identifier.issue11-
dc.identifier.spage6105-
dc.identifier.epage6109-
dc.relation.doi10.1063/1.1368863-
dc.textversionpublisher-
dc.relation.urlhttp://link.aip.org/link/?jap/89/6105-
dcterms.accessRightsopen access-
出現コレクション:学術雑誌掲載論文等

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